Formation of phase composition and structure in nanosize thin film compositions CoSb([sub]1,82–2,51[/sub])(30 нм)/SiO[sub]2[/sub](100 нм)/ Si(001) – functional elements of thermionics

By the methods of x-ray photography diffraction, scanning electron microscopy, atomic-power microscopy and resistometry, we investigate the processes of phase formation and structure in CoSb(1,82–2,51)(30 nm) thin film on the single-crystal silicon of Si(001) substrate with the SiO2(100 nm) oxide layer. We determine that the two-phase state – CoSb2 antimonide with a monoclinic crystalline lattice and CoSb3 with the cube crystalline lattice of skutterudite type is formed in CoSb(1,82–2,51)(30 nm)/ SiO2(100 nm)/Si(001) thin film compositions after deposition as well as after annealing. Furthermore, the grains size of both phases increases after the thin films annealing in an interval of 720–970 K, however, when it exceeds 875 K some discontinuity flaws appear on thin films.

Publication year: 
2010
Issue: 
5
УДК: 
539.216.2:661.685
С. 97–101, укр., Іл. 3. Бібліогр.: 8 назв.
References: 

1. Боднарук В.І. Напівпровідникові термоелектричні перетворювачі та прилади на їх основі // Термоелектрика. — 2005. — № 1. — С. 77—84.
2. He Q., Hu Sh., Tang X. The great improvement effect of pores on ZT in Co1−xNixSb3 system // Applied physics letters 93. — 2008. — P. 1.
3. 3акордонец В.С., Логвинов Г.Н. Термоэлектрическая добротность монополярных полупроводников ограниченных размеров // Физика и техника полупроводников. — 1997. — 31, № 3. — С. 323—325.
4. Епремян А.О., Арутюнян В.М., Ваганян А.И. Добротность современных полупроводниковых термоэлектрических материалов. — 2005. — С. 7—18.
5. Schlecht S., Bottner H. Energiewandler mit grossem Zukunftspotenzial. Nachrichten aus der Chemie // Thermoelektrika. — 2008. — Р. 136—139.
6. Yuasa S., Nagahama T., Fukushima A. Giant room-temperature magnetoresistance in single-crystal Fe/MgO/Fe magnetic tunnel junctions // Nature Materials. — 2004. — 3(12). — P. 868—871.
7. Лякишев Н.П. Диаграммы состояния двойных металлических систем: В 3-х т. — М.: Металлургия, 1997. — Т. 2. — C. 334—335.
8. Peng J.Y., Alboni P.N., He J. et al. Thermoelectric properties of (In, Yb) double-filled CoSb3 skutterudite // J. of applied physics. — 2008. — 104. — P. 1—5.

AttachmentSize
2010-5-14.pdf1.33 MB

Тематичні розділи журналу

,