Effect of thin Film Dielectric Barrier Parameters on the Ozonizer Characteristics

The aim of this paper is to investigate the influence of properties of thin films and glass dielectric barriers (thickness from 8 um to 1 mm) on the ozonizer characteristics and choose the best. This paper presents experimental results on the effect of parameters of dielectric barriers made from polymeric materials (Lavsan, Teflon), quarts glass as well as SiO2 thin films, deposited by the reactive electron-beam vaporization on the ozonizers characteristics. Experimental results show that the dielectric barrier breakdown voltage decreases with roughness of electrode surface under dielectric. Also, experimental results show that the use of the dielectric barriers with SiO2 thin films and polymeric materials leading to the increase of ozonizes efficiency. But polymeric materials show low life cycle. That’s why SiO2 thin film deposited on a polished electrode surface is the best dielectric material to use in ozonizers.

Publication year: 
2011
Issue: 
6
УДК: 
621.387.3
С. 11—15. Іл. 5. Бібліогр.: 7 назв.
References: 

1. Лунин В.В., Попович М.П., Ткаченко С.Н. Физическая химия озона. — М.: Изд-во МГУ, 1998. — 480 с.
2. Кузьмичев А.И. Применение озона в технологии тонких пленок и эпитаксии // Труды Укр. вакуумного общества. — 1997. — 3. — С. 393—402.
3. Техника и технология озонотерапии / А.Г. Богданов, В.И. Крижановский, А.И. Кузьмичев и др. // Укр. журнал мед. техники и технологии. — 1994. — № 1/2. — С. 22—26.
4. Fridman A. Plasma Chemistry. — New York: Cambridge University Press, 2008. — 978 p.
5. Белевский В.П., Кузьмичев А.И., Мельник В.И. Электронно ионные устройства для нанесения тонкопленочных покрытий. — К.: Общество “Знание” Украины, 1982. — 21 с.
6. Филиппов Ю.В., Емельянов Ю.М. Теория динамических характеристик озонаторов // Журнал физической химии. 1957. — 31, вып. 7. — С. 1628—1635.
7. Бевза О.Н., Денбновецкий С.В., Кузьмичев А.И. Активатор кислорода для озонотерапии // Междунар. науч.-техн. конф. “Проблемы физической и биомедицинской электроники”: Сб. докладов. — К., 1996. — С. 99—102.

AttachmentSize
2011-6-2.pdf587.51 KB

Тематичні розділи журналу

,