Вплив параметрів тонкоплівкового діелектричного бар’єра на характеристики озонатора

Досліджено вплив параметрів тонкоплівкових і скляних діелектричних бар’єрів товщиною від 8 мкм до 1 мм на характеристики озонатора. Подано результати експериментального дослідження впливу на характеристики озонатора параметрів діелектричних бар’єрів з полімерних матеріалів (лавсану та фторопласту), кварцового скла і плівок SiO2, нанесених методом електронно-променевого випаровування в реакційному середовищі. Показано, що шорсткість електрода під діелектричним бар’єром зменшує величину напруги пробою останнього. Було встановлено, що поряд із плівками SiO2 підвищенню коефіцієнта корисної дії озонатора сприяє використання полімерних тонкоплівкових бар’єрів, проте їх строк служби на порядок менший. Таким чином, найкращим матеріалом для застосування як діелектричного бар’єра (серед досліджених) є тонкі плівки SiO2, які осаджені на поліровану поверхню електрода.

Рік видання: 
2011
Номер: 
6
УДК: 
621.387.3
С. 11—15. Іл. 5. Бібліогр.: 7 назв.
Література: 

1. Лунин В.В., Попович М.П., Ткаченко С.Н. Физическая химия озона. — М.: Изд-во МГУ, 1998. — 480 с.
2. Кузьмичев А.И. Применение озона в технологии тонких пленок и эпитаксии // Труды Укр. вакуумного общества. — 1997. — 3. — С. 393—402.
3. Техника и технология озонотерапии / А.Г. Богданов, В.И. Крижановский, А.И. Кузьмичев и др. // Укр. журнал мед. техники и технологии. — 1994. — № 1/2. — С. 22—26.
4. Fridman A. Plasma Chemistry. — New York: Cambridge University Press, 2008. — 978 p.
5. Белевский В.П., Кузьмичев А.И., Мельник В.И. Электронно ионные устройства для нанесения тонкопленочных покрытий. — К.: Общество “Знание” Украины, 1982. — 21 с.
6. Филиппов Ю.В., Емельянов Ю.М. Теория динамических характеристик озонаторов // Журнал физической химии. 1957. — 31, вып. 7. — С. 1628—1635.
7. Бевза О.Н., Денбновецкий С.В., Кузьмичев А.И. Активатор кислорода для озонотерапии // Междунар. науч.-техн. конф. “Проблемы физической и биомедицинской электроники”: Сб. докладов. — К., 1996. — С. 99—102.

Текст статтіРозмір
2011-6-2.pdf587.51 КБ