Формирование фазового состава и структуры в наноразмерных пленочных композициях CoSb([sub]1,82–2,51[/sub])(30 нм)/SiO[sub]2[/sub](100 нм)/ Si(001) – функциональных элементах термоэлектроники

Исследованы процессы фазообразования и структура в пленке CoSb(1,82–2,51)(30 нм) на подложке монокристаллического кремния Si(001) со слоем оксида SiO2(100 нм) методами рентгеновской дифракции, растровой электронной микроскопии, атомно-силовой микроскопии и резистометрии. Установлено, что в пленочных композициях CoSb(1,82–2,51)(30 нм)/SiO2(100 нм)/Si(001) после осаждения и после отжига формируется двухфазное состояние – антимониды CoSb2 с моноклинной кристаллической решеткой и CoSb3 с кубической кристаллической решеткой типа скуттерудита. После отжигов пленок в интервале 720–970 К происходит увеличение зерен обеих фаз, а выше 875 К появляются несплошности пленок.

Год издания: 
2010
Номер: 
5
УДК: 
539.216.2:661.685
С. 97–101, укр., Іл. 3. Бібліогр.: 8 назв.
Литература: 

1. Боднарук В.І. Напівпровідникові термоелектричні перетворювачі та прилади на їх основі // Термоелектрика. — 2005. — № 1. — С. 77—84.
2. He Q., Hu Sh., Tang X. The great improvement effect of pores on ZT in Co1−xNixSb3 system // Applied physics letters 93. — 2008. — P. 1.
3. 3акордонец В.С., Логвинов Г.Н. Термоэлектрическая добротность монополярных полупроводников ограниченных размеров // Физика и техника полупроводников. — 1997. — 31, № 3. — С. 323—325.
4. Епремян А.О., Арутюнян В.М., Ваганян А.И. Добротность современных полупроводниковых термоэлектрических материалов. — 2005. — С. 7—18.
5. Schlecht S., Bottner H. Energiewandler mit grossem Zukunftspotenzial. Nachrichten aus der Chemie // Thermoelektrika. — 2008. — Р. 136—139.
6. Yuasa S., Nagahama T., Fukushima A. Giant room-temperature magnetoresistance in single-crystal Fe/MgO/Fe magnetic tunnel junctions // Nature Materials. — 2004. — 3(12). — P. 868—871.
7. Лякишев Н.П. Диаграммы состояния двойных металлических систем: В 3-х т. — М.: Металлургия, 1997. — Т. 2. — C. 334—335.
8. Peng J.Y., Alboni P.N., He J. et al. Thermoelectric properties of (In, Yb) double-filled CoSb3 skutterudite // J. of applied physics. — 2008. — 104. — P. 1—5.

Полнотекстовый документSize
2010-5-14.pdf1.33 MB

Тематичні розділи журналу

,