Влияние параметров тонкопленочного диэлектрического барьера на характеристики озонатора

Исследовано влияние параметров тонкопленочных и стеклянных диэлектрических барьеров толщиной от 8 мкм до 1 мм на характеристики озонатора. Представлены результаты экспериментального исследования влияния на характеристики озонатора параметров диэлектрических барьеров из полимерных материалов (лавсана и фторопласта), кварцевого стекла и пленок SiO2, нанесенных методом электронно-лучевого испарения в реакционной среде. Показано, что шероховатость электрода под диэлектрическим барьером уменьшает напряжение пробоя последнего. Установлено, что наряду с пленками SiO2 повышению коэффициента полезного действия озонатора способствует применение тонкопленочных полимерных материалов, но срок их службы значительно ниже. Таким образом, наилучшим материалом для применения в роли диэлектрического барьера (из исследованных) являются тонкие пленки SiO2, осаженные на полированную поверхность электрода.

Год издания: 
2011
Номер: 
6
УДК: 
621.387.3
С. 11—15. Іл. 5. Бібліогр.: 7 назв.
Литература: 

1. Лунин В.В., Попович М.П., Ткаченко С.Н. Физическая химия озона. — М.: Изд-во МГУ, 1998. — 480 с.
2. Кузьмичев А.И. Применение озона в технологии тонких пленок и эпитаксии // Труды Укр. вакуумного общества. — 1997. — 3. — С. 393—402.
3. Техника и технология озонотерапии / А.Г. Богданов, В.И. Крижановский, А.И. Кузьмичев и др. // Укр. журнал мед. техники и технологии. — 1994. — № 1/2. — С. 22—26.
4. Fridman A. Plasma Chemistry. — New York: Cambridge University Press, 2008. — 978 p.
5. Белевский В.П., Кузьмичев А.И., Мельник В.И. Электронно ионные устройства для нанесения тонкопленочных покрытий. — К.: Общество “Знание” Украины, 1982. — 21 с.
6. Филиппов Ю.В., Емельянов Ю.М. Теория динамических характеристик озонаторов // Журнал физической химии. 1957. — 31, вып. 7. — С. 1628—1635.
7. Бевза О.Н., Денбновецкий С.В., Кузьмичев А.И. Активатор кислорода для озонотерапии // Междунар. науч.-техн. конф. “Проблемы физической и биомедицинской электроники”: Сб. докладов. — К., 1996. — С. 99—102.

Полнотекстовый документSize
2011-6-2.pdf587.51 KB