Макогон Ю.Н.

Влияние условий отжига на структуру и магнитные свойства наноразмерной пленочной композиции Fe50Pt50(15 нм)/ Ag(30 нм)/Fe50Pt50(15 нм)/SiO2(100 нм)/Si(001)

Изучено влияние промежуточного слоя Ag и длительности отжига в вакууме при температуре 600 °С на формирование химически упорядоченной фазы L10(FePt) в наноразмерной пленочной композиции (НПК) Fe50Pt50(15 нм)/Ag(30 нм)/Fe50Pt50(15 нм) на планарной подложке SiO2(100 нм) /Si(001).

Влияние температуры отжига на структуру и магнитные свойства наноразмерной пленочной композиции Fe50Pt50(15 нм)/ Ag(30 нм)/Fe50Pt50(15 нм)/SiO2(100 нм)/Si(001)

Изучено влияние температуры отжига в вакууме интервале 300–900 °С иьпромежуточного слоя серебра на процессы диффузионного фазообразования и переход химически неупорядоченной магнитномягкой фазы А1(FePt)ГЦК в химически упорядоченную магнитнотвердую фазу L10(FePt)ГЦТ в наноразмерной пленочной композиции (НПК) Fe50Pt50(15 нм)/Ag(30 нм)/Fe50Pt50(15 нм) на подложке SiO2(100 нм)/Si(001). Исследованы ее структура, морфология и магнитные характеристики. Показано, что после осаждения в исследуемой НПК фиксируется фаза А1(FePt)ГЦК.

Ферромагнитный резонанс в наноразмерных пленках Fe-Pt

Изучено влияние фазового состава и структуры наноразмерных пленок Fe-Pt толщиной 10 и 30 нм на их магнитные свойства, в частности на изменение формы линий ферромагнитного резонанса (ФМР). Пленки были осаждены на подложку термически окисленного (слой SiO2 толщиной 100 нм) монокристаллического Si ориентации (001), которая находилась при комнатной температуре. Отжиги образцов проводились в вакууме ∼1,3⋅10 −3∼1 Па в интервале температур 100–900 °С с выдержкой 30 с при каждой температуре.

Структура и магнитные свойства наноразмерной пленки Fe50Pt50 на планарной подложке SiO2(100 нм)/Si(001)

Изучено влияние условий отжига в вакууме интервале температур 300–900 °С на формирование химически упорядоченной фазы L10(FePt) в наноразмерной пленочной композиции (НПК) Fe50Pt50(15 нм)/Ag(3 нм)/Fe50Pt50(15 нм) на планарной подложке SiO2(100 нм)/Si(001). Исследованы ее структура, морфология и магнитные характе-ристики. Показано, что формирование фазы L10(FePt) происходит при отжиге 700 °С длительностью 30 с и скорости нагрева 5 °С/с.

Влияние условий отжига на структуру и магнитные свойства наноразмерных пленок Fe50Pt50 на планарных подкладках SiO2(100 нм)/Si(100)

Изучено влияние промежуточного слоя Ag толщиной 3 нм и длительности отжига в вакууме при температуре 600 ° на формирование химически упорядоченной фазы L10(FePt) в наноразмерной пленочной композиции (НПК) Fe50Pt50(15 нм)/Ag(3 нм)/ Fe50Pt50(15 нм) на планарной подложке SiO2(100 нм)/Si(100). Исследованы ее структура и магнитные характеристики. Показано, что формирование фазы L10(FePt) происходит во время отжига длительностью 30 мин. Последующее увеличение длительности отжига не приводит к фазовым превращениям.

Фазообразование в пленочной композиции Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/Ti(100 нм)/SiO[sub]2[/sub](370 нм) на монокристаллическом кремнии ориентации (001)

Методами рентгеновской дифракции, растровой электронной микроскопии и резистометрии исследованы твердотельные реакции в пленочной композиції Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/Ti(100 нм)/SiO2(370 нм) на монокристаллическом кремнии ориентации (001). Исследуемая пленочная композиция была получена последовательным электронно-лучевым осаждением слоев элементов в вакууме не ниже 10-4 Па без развакуумирования на подложку кремния со слоем оксида на поверхности. Вакуумные отжиги образцов проводились в температурном интервале 770–1170 К на протяжении одного часа.

Влияние термической обработки на фазообразование в многослойной пленочной композиции [Ta(3,3 нм)/Si(6,6 нм)][sub]45[/sub]/Si (001) и ее оптические свойства

Методами спектральной эллипсометрии, рентгеноструктурного фазового анализа, резистометрии исследовано влияние термической обработки на фазообразование в периодической (45 бислоев) многослойной пленочной композиции (МПК) [Ta(3,3 нм)/Si(6,6 нм)]45/Si(001) со средним по объему составом TaSi2. Установлены закономерности изменения оптических свойств и энергетического спектра электронов в результате потери трансляционной симметрии в дисилициде тантала.

Формирование фазового состава и структуры в наноразмерных пленочных композициях CoSb([sub]1,82–2,51[/sub])(30 нм)/SiO[sub]2[/sub](100 нм)/ Si(001) – функциональных элементах термоэлектроники

Исследованы процессы фазообразования и структура в пленке CoSb(1,82–2,51)(30 нм) на подложке монокристаллического кремния Si(001) со слоем оксида SiO2(100 нм) методами рентгеновской дифракции, растровой электронной микроскопии, атомно-силовой микроскопии и резистометрии.

Твердотельные реакции в пленочной композиции Ti (200 нм)/Cu (200 нм)/Ti (10 нм)/ Sio2(370 нм) на монокристаллическом кремнии (001)

Методами рентгеновской дифракции, просвечивающей электронной микроскопии поперечных срезов (cross-section), растровой электронной микроскопии и резистометрии исследованы твердотельные реакции в пленочной композиции Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/Ti(10 нм)/SiO2(370 нм) на монокристаллическом кремнии ориентации (001). Исследуемая пленочная композиция была получена последовательным электронно-лучевым осаждением слоев элементов в вакууме не ниже 10−4 Па без развакуумирования на подложку кремния со слоем оксида на поверхности.

Фазовые превращения и физические cвойства наноразмерной пленочной композиции fe50pt50 (30 нм)/sio2(100 нм)/ Si(001)Pt50 (30 нм)/SiO2(100 нм)/Si(001)

Изучены условия формирования магнитноупорядоченной фазы L10(FePt) с гранецентрированной тетрагональной решеткой в наноразмерной пленочной композиции Fe50Pt50(30 нм)/SiO2(100 нм)/Si(001) при отжиге в азоте. Исследованы ее структура, морфология, электрические и магнитные характеристики. Показано, что в пленке Fe50Pt50 магнитноупорядоченная фаза L10(FePt) с зернами прямоугольной формы образуется после отжига при температуре 720 К, формирование которой в процессе дальнейших отжигов ведет к увеличению коэрцитивной силы пленки Fe50Pt50 до 1000 Гс при намагниченности насыщения ~945 эмо/см2.