Мариненко А.А.

Оптические и пассивирующие свойства нитрида кремния

Рассмотрены физико-технологические процессы повышения эффективности преобразования фотоэлектрических преобразователей на основе монокристаллического и мультикристаллического кремния. Исследованы оптические и пассивирующие свойства пленок нитрида кремния, полученных плазмохимическим осаждением.