Шкарбань Р.А.

Шкарбань Руслан Анатолійович, аспірант Національного технічного університету України “Київський політехнічний інститут”.

Формування фазового складу і структури в нанорозмірних плівкових композиціях CoSb([sub]1,82–2,51[/sub])(30 нм)/SiO[sub]2[/sub](100 нм)/ Si(001) – функціональних елементах термоелектроніки

Досліджено процеси фазоутворення і структура в плівці CoSb(1,82–2,51)(30 нм) на підкладці монокристалічного кремнію Si(001) з шаром оксиду SiO2(100 нм) методами рентгенівської дифракції, растрової електронної мікроскопії, атомно-силової мікроскопії та резисторметрії.