Чирчик С.В.

Чирчик Сергій Васильович, кандидат фізико-математичних наук, доцент Університету сучасних знань.

Безконтактний спосіб вимірювання рекомбінаційних параметрів носіїв заряду в напівпровідниках

Запропоновано безконтактний оптичний спосіб вимірювання швидкості поверхневої рекомбінації (s) і дифузійної довжини (L) носіїв заряду, заснований на аналізі залежності інтенсивності надлишкового теплового випромінювання (ТВ) напівпровідникового зразка в спектральній області поглинання вільними носіями (hν < Eg) від довжини хвилі збуджуючого світла з області власного поглинання (hν > Eg). Спосіб тестовано на пластинах монокристалічного Sі з різною обробкою поверхні, що давало можливість змінювати s від 400 до > 105 см/с.